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응용사례

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MEMS

관리자 2018-01-31 조회수 16,793

 

  MEMS & 미세구조    MEMS & Microstructures

 

 마이크로시스템에서 고해상도(picometer) 및 고주파수 (Mega Hertz)대역폭 측정  가능

 

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 [적용사례] 

수동진동자의고유진동수측정

• MEMS 필터 및 발진기의 품질분석
• MEMS 압력센서의 멤브레인결함측정
마이크로시스템 전용 가속도 센서  특성 분석
탄소 나노튜브의 역학 특성분석
• MEMS
마이크로폰의 역학 특성 조사

 

__4-5-2.mems.png   __4-5-3. mems (GIF).gif

 


 

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