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응용사례

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관리자 2018-01-31 조회수 18,836

■ MEMS & 미세구조 MEMS & Microstructures

마이크로시스템에서 고해상도(picometer) 및 고주파수 (Mega Hertz)대역폭 측정 가능

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[적용사례]

• 수동진동자의고유진동수측정

• MEMS 필터 및 발진기의 품질분석
• MEMS 압력센서의 멤브레인결함측정
• 마이크로시스템 전용 가속도 센서 특성 분석
• 탄소 나노튜브의 역학 특성분석
• MEMS 마이크로폰의 역학 특성 조사

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